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液滴振动装置及液滴振动方法制造方法及图纸
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文档序号:11517771
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本发明提供可在增大振幅的条件下使液滴振动的液滴振动装置及液滴振动方法。本发明的液滴振动装置具备:上电极;可承载基板的下电极;变更彼此相对的上电极和下电极的距离的变更机构;可检测在基板的、与上电极相对的一侧形成的液滴的区域传感器;以及改变在上...
该专利属于秋田爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过秋田爱普生株式会社授权不得商用。
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