下载低温泵系统及低温泵系统的运行方法的技术资料

文档序号:11514744

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本发明提供一种低温泵系统及低温泵系统的运行方法。本发明的课题在于提高低温泵系统的节能性能。本发明所涉及的低温泵系统(100)中,低温泵(10)具备:制冷机(12),具备低温冷却台及高温冷却台;低温低温板,通过低温冷却台被冷却;及高温低温板,...
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