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一种防划伤硅棒检测垫，包括橡塑基材和橡塑凸点，橡塑凸点设置在橡塑基材的上表面上，相邻两个橡塑凸点之间的距离为2～30毫米，橡塑凸点的直径为3～20毫米，橡塑凸点的外露表面为弧形面。由于在橡塑基材上设置了橡塑凸点，待检硅棒放置在检测垫上时，即...
该专利属于国电兆晶光电科技江苏有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过国电兆晶光电科技江苏有限公司授权不得商用。

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