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本发明涉及有机材料的提纯设备技术领域，尤其涉及一种具有多层筛网的真空系统保护装置，属于物理气相沉积技术领域。其包括依次串联的水平设置的管状的升华管、水平设置的管状的收集管、冷井和抽真空装置，在冷井内设置有多层的筛网，筛网沿着从靠近升华管的一...
该专利属于武汉尚赛光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉尚赛光电科技有限公司授权不得商用。

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