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玻璃基板的制造方法技术
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文档序号:11502636
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本发明涉及一种玻璃基板的制造方法,所述玻璃基板的制造方法包括:研磨工序,所述研磨工序使用研磨垫和研磨液对保持在研磨用载具的保持孔中的玻璃基板的主平面进行研磨,所述研磨垫具有肖氏D硬度为40以下的发泡树脂的研磨层,所述研磨液含有初级粒径为3~...
该专利属于旭硝子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过旭硝子株式会社授权不得商用。
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