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本实用新型提供一种微机械陀螺仪的晶圆测试系统，所述晶圆测试系统包括：电源模块，用于输出电源信号；信号发生模块，用于产生扫频信号；信号传输模块，与所述电源模块、所述信号发生模块及待测微机械陀螺仪电连接，以将所述扫频信号和所述电源信号作为输入信...
该专利属于嘉盛半导体(苏州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉盛半导体(苏州)有限公司授权不得商用。

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