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本实用新型涉及一种恒压储液罐,包括储液罐,所述储液罐内部的顶部注有氮气,所述储液罐的一侧设有底座,所述底座上安装有钢瓶和恒压阀,所述储液罐的侧壁上开设有恒压口,所述恒压阀连接钢瓶和储液罐;所述底座下方安装有滑轮。本设备能够针对储液罐内的气压...该专利属于昆山欣谷微电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山欣谷微电子材料有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种恒压储液罐,包括储液罐,所述储液罐内部的顶部注有氮气,所述储液罐的一侧设有底座,所述底座上安装有钢瓶和恒压阀,所述储液罐的侧壁上开设有恒压口,所述恒压阀连接钢瓶和储液罐;所述底座下方安装有滑轮。本设备能够针对储液罐内的气压...