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本实用新型提供一种传片板，包括：一平板，所述平板内均匀设置有循环管，所述循环管内充入有流动性物质。将流动性物质充入均匀分布于所述平板内的循环管中，使得整个平板的温度均匀，当将经过第二次快速升温退火后的金属硅化物硅片放到传片板上时，所述金属硅...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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