温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种单电机驱动双摆臂转动的装置，包括电机、单元固定板、减速器及摆臂单元，电机通过单元固定板安装在晶圆处理单元底座上，电机的输出端连接有减速器，在减速器的输出端连接有第二同步带轮，第二同步带轮的...
该专利属于沈阳芯源微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。