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本发明公开了一种塑性金属纳米Cu/Ru多层膜的制备方法，该方法采用磁控溅射技术，通过控制不同组成元素铜层和钌层交替更迭，并通过溅射过程转速、偏压等实验参数的调整铜层和钌层的单层厚度均与1.5nm，从而形成具有相同面心立方结构的铜层和钌层。该...
该专利属于西安交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安交通大学授权不得商用。

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