下载晶圆级封装方法的技术资料

文档序号:11467997

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本发明涉及一种晶圆级封装方法,在晶圆上各晶片之间的连接梗上形成通孔;在所述晶圆上形成保护层,并露出用于植焊球的植球点,所述保护层包括形成在所述晶圆顶面的上保护层、形成在所述晶圆底面的下保护层、以及在各所述通孔之间的中间保护层,所述中间保护层...
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