下载一种微透镜的制作方法的技术资料

文档序号:11457071

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本发明公开了一种微透镜的制作方法,该方法的具体步骤为:步骤1)在基片上旋涂负性光刻胶层;步骤2)基于设计好的图形、利用曝光工艺来实现微透镜的平面结构;步骤3)加热回流,冷却后获得预期微透镜结构。首次通过对负性光刻胶曝光并加热回流来制作微透镜...
该专利属于中国科学技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学技术大学授权不得商用。

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