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电阻式非挥发性存储器装置及其制作方法制造方法及图纸
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文档序号:11452949
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一种电阻式非挥发性存储器装置及其制作方法,该制作方法包括:提供一基底,其中基底上包括一下电极层、一电阻转换层、一上电极层和一第一罩幕;形成一层间介电层于基底上方;形成一第二罩幕于层间介电层上;利用第二罩幕作为蚀刻罩幕,蚀刻层间介电层,以形成...
该专利属于华邦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华邦电子股份有限公司授权不得商用。
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