下载电阻式非挥发性存储器装置及其制作方法的技术资料

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一种电阻式非挥发性存储器装置及其制作方法,该制作方法包括:提供一基底,其中基底上包括一下电极层、一电阻转换层、一上电极层和一第一罩幕;形成一层间介电层于基底上方;形成一第二罩幕于层间介电层上;利用第二罩幕作为蚀刻罩幕,蚀刻层间介电层,以形成...
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