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一种半导体多电学参数的自动化测试系统技术方案
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文档序号:11440363
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本发明公开了一种半导体多电学参数的自动化测试系统,测试环境调控单元,其用以提供不同温度、磁场和光照的测试环境;信号测试单元,其用以测试在不同测试环境下被测样品的多种电学参数;主控单元,其控制测试环境调控单元调节测试环境,控制信号测试单元完成...
该专利属于华东师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过华东师范大学授权不得商用。
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