下载贯通电极基板的制造方法的技术资料

文档序号:11439407

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本发明提供一种贯通电极基板的制造方法,在该贯通电极基板中,提高了将基板的表面和背面导通的导通部中的电特性。本发明的贯通电极基板(100)具备具有贯通表面和背面的贯通孔(104)的基板(102);和填充在贯通孔(104)内并含有金属材料的导通...
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