下载一种紧缩场平面扫描架的平面度补偿系统及方法的技术资料

文档序号:11437660

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本发明公开一种紧缩场平面扫描架的平面度补偿系统及方法,该系统包括:激光平面发射器,用于通过以自身旋转的方式使发射的激光束形成激光平面;位置敏感探测器,用于实时检测激光平面与自身感应区零位的位置偏差并将其发送至控制器;控制器,用于根据位置偏差...
该专利属于北京无线电计量测试研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京无线电计量测试研究所授权不得商用。

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