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本实用新型公开了一种光刻机电气伺服对位控制系统，包括连接气源的气动三联件、电气伺服方向流量阀、电气比例节流器、由伺服气缸和液压缸串联而成的气液阻尼缸、支撑工作台的静压气浮导轨、位于工作台上方的CCD图像传感器、光刻机控制器，气动三联件通过两...
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