下载一种采用磁控溅射法制备PBZ薄膜用的PBZ靶材的制备方法的技术资料

文档序号:11422049

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本发明公开了一种采用磁控溅射法制备PBZ薄膜用的PBZ靶材的制备方法,先按照PBZ即锆酸铅钡的化合物分子式(Pb1-xBax)ZrO3其中0<x<1的元素摩尔质量比,将Pb3O4、BaCO3、ZrO2三种原料进行混合,再一次球磨...
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