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含倍半萜内酯成膜树脂及其正性248nm光刻胶制造技术
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下载含倍半萜内酯成膜树脂及其正性248nm光刻胶的技术资料
文档序号:11415719
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本发明公开一种含倍半萜内酯共聚物成膜树脂及其正性248nm光刻胶。所述成膜树脂由共聚单体在自由基引发剂存在的条件下,在溶剂中进行共聚反应制备而成;所述成膜树脂的分子量为4,000~1,000,000分子量分布为1.4~2.4;所述共聚单体主...
该专利属于昆山西迪光电材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山西迪光电材料有限公司授权不得商用。
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