下载具有光子导向性的单光子源的制备方法的技术资料

文档序号:11415027

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本发明提供一种具有光子导向性的单光子源的制备方法,包括:在金刚石块材中定位色心的位置;使用多组环形离子束图案组,在金刚石块材表面刻蚀出以色心为球心的半球形表面,在每组环形离子束图案组中,各环形离子束图案的环心错开,各环形离子束图案的内圈半径...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。

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