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一种MgO/ZnO复合介质保护膜及其制备方法技术
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文档序号:11414117
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本发明公开了一种MgO/ZnO复合介质保护膜及其制备方法,所述复合介质保护膜包括掺杂有弥散分布ZnO颗粒的MgO薄膜。由于在MgO薄膜中掺杂ZnO颗粒,改变了表面颗粒的形状,表面颗粒形状由椭圆形变成三角形。使得所述复合介质保护膜的二次电子发...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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