下载一种MgO/ZnO复合介质保护膜及其制备方法的技术资料

文档序号:11414117

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本发明公开了一种MgO/ZnO复合介质保护膜及其制备方法,所述复合介质保护膜包括掺杂有弥散分布ZnO颗粒的MgO薄膜。由于在MgO薄膜中掺杂ZnO颗粒,改变了表面颗粒的形状,表面颗粒形状由椭圆形变成三角形。使得所述复合介质保护膜的二次电子发...
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