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一种图像传感单元及其形成方法,所述图像传感单元的形成方法包括:提供基底,所述基底内形成有金属插塞,所述金属插塞的表面与基底表面齐平;形成覆盖所述基底表面和金属插塞表面的介质层;在所述介质层表面形成具有开口的掩膜层,所述开口位于金属插塞表面正...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。
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一种图像传感单元及其形成方法,所述图像传感单元的形成方法包括:提供基底,所述基底内形成有金属插塞,所述金属插塞的表面与基底表面齐平;形成覆盖所述基底表面和金属插塞表面的介质层;在所述介质层表面形成具有开口的掩膜层,所述开口位于金属插塞表面正...