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本实用新型公开了一种气相沉淀设备用喷淋头清洁装置，包括可拆卸地设置于旋转托盘上的清洁部件，且清洁部件的旋转半径大于或等于喷淋头半径；通过将清洁部件固定于设备的旋转托盘上，在每生长一炉后通过驱动旋转托盘上移并转动，实现对喷淋头的自动清洁，节省...
该专利属于聚灿光电科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过聚灿光电科技股份有限公司授权不得商用。

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