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本发明所设计的多功能红外气体传感器，包括红外特征滤光片和热电堆红外探测器，热电堆红外探测器包括多个感测单元，每个感测单元包括硅基体、框架、热电堆、支撑臂、红外吸收层和刻蚀开口，硅基体中心通过框架设置刻蚀开口，在硅基体上设置支撑臂，支撑臂上间...
该专利属于杭州麦乐克电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州麦乐克电子科技有限公司授权不得商用。

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