下载一种热解碳涂层的制备方法的技术资料

文档序号:11388631

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本发明提出了一种热解碳涂层的制备方法,其包括如下步骤:(1)提供一种具有炉体的化学气相沉积炉,炉体内贯穿设置有刚玉管,刚玉管的进气端端面上设有圆孔供钨棒插入,钨棒的另一端连接石墨柱,石墨柱朝向刚玉管的出气端用于粘贴石墨基体;(2)将石墨基体...
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