下载检测设备真空度的方法和装置的技术资料

文档序号:11385467

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本发明公开了一种检测设备真空度的方法和装置。其中,该方法包括:在确定真空计与被测设备连接之后,控制真空计对被测设备进行抽空处理;在抽空处理的时间达到第一预设时间时,获取被测设备的第一真空度值;检测第一真空度值是否小于或等于第一预设阈值;若被...
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