下载共面电极模拟光电探测器芯片及其制作方法的技术资料

文档序号:11383452

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本发明公开一种共面电极模拟光电探测器芯片及其制作方法,该模拟光电探测器芯片包括:外延片以及形成于所述外延片背面的欧姆接触层;所述外延片包括:衬底、缓冲层、吸收层、过渡层、顶层、钝化层、掺杂光敏区、限制沟、增透过渡薄膜层、P型电极金属层、N型...
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