下载一种或非门闪存存储器的技术资料

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本发明公开了一种或非门闪存存储器,包括:基底,在第一方向上开有深隔离槽,在第二方向上开有浅隔离槽,所述深隔离槽的深度大于所述浅隔离槽的深度;氧化层,位于深隔离槽内;沟道区,位于浅隔离槽内;隧穿氧化层,位于沟道区之上;浮栅层,位于隧穿氧化层之...
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