下载键合方法以及键合结构的技术资料

文档序号:11375574

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本发明提供一种键合方法以及键合结构,其中键合方法包括:提供待键合的第一基板以及第二基板,所述第一基板以及第二基板分别具有应力;所述第一基板以及第二基板分别包括键合面以及相对于所述键合面的非键合面;在所述第一基板和/或第二基板的非键合面形成带...
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