下载利用硅基波导改进的二氧化硅基阵列波导光栅装置及制备的技术资料

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一种改进的二氧化硅基阵列波导光栅及制作,包括输入和输出波导、平板波导和存在相邻长度差的阵列波导,输入和输出波导均包括利用第二耦合器连接的二氧化硅基波导部分和硅基波导部分,其中利用第一耦合器与二氧化硅基平板波导罗兰圆连接的为输入或输出波导的硅...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。

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