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一种周期衍射褶皱激发的石墨烯波导全程补偿的表面等离子体传播装置制造方法及图纸
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下载一种周期衍射褶皱激发的石墨烯波导全程补偿的表面等离子体传播装置的技术资料
文档序号:11373407
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本发明公开了一种周期衍射褶皱激发的石墨烯波导全程补偿的表面等离子体传播装置,包括Si基底和由Si基底氧化的SiO2介质层,其特征是,在SiO2介质层表面设有用来传播表面等离子体的石墨烯波导,石墨烯波导的一端刻蚀有激发SPPs的褶皱结构,石墨...
该专利属于广西师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过广西师范大学授权不得商用。
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