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本发明公开了一种多晶硅锭的铸造方法,其包括对坩埚的预处理和铸锭过程,其中对坩埚的预处理包括:将氮化硅粉、硅溶胶和水配制成氮化硅浆液,喷涂于坩埚的侧壁和底部,另取上述氮化硅浆液,喷涂于坩埚底部;将硅粉在强氧化性酸溶液中浸泡30~60分钟后分离...该专利属于扬州荣德新能源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过扬州荣德新能源科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种多晶硅锭的铸造方法,其包括对坩埚的预处理和铸锭过程,其中对坩埚的预处理包括:将氮化硅粉、硅溶胶和水配制成氮化硅浆液,喷涂于坩埚的侧壁和底部,另取上述氮化硅浆液,喷涂于坩埚底部;将硅粉在强氧化性酸溶液中浸泡30~60分钟后分离...