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一种生产低粘度小粒径硅溶胶的方法，其特征在于，所述方法为将二氧化硅源与碱按照摩尔数之比为17~50，加入水溶液中混合反应，混合反应温度为60~120℃；所述碱的摩尔数为将碱折算成碱性氧化物后碱性氧化物的摩尔数。采用本发明中方法制备获得的硅溶...该专利属于上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。