下载一种GaN基LED外延结构的发光量子阱应力调控方法的技术资料

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本发明提供一种GaN基LED外延结构的发光量子阱应力调控方法,其外延结构,从下向上的顺序依次包括:蓝宝石衬底、低温GaN成核层、高温GaN缓冲层、高温u型GaN层、高温n型GaN层、低温应力释放层V-pits层、多量子阱发光层、p型AlGa...
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