下载一种用于生长金刚石单晶的新型籽晶托盘的技术资料

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本实用新型公开了一种用于生长金刚石单晶的新型籽晶托盘,用于微波等离子体化学气相沉积装置的谐振腔腔体内,置于谐振腔腔体内的基台上,托盘的中心端面开设有凹坑,所述凹坑出口端与托盘端面所在水平面是由斜面过渡连接,所述凹坑大于等于1个,本实用新型是...
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