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本实用新型提供一种广视野表面缺陷检测装置，包括一个底座和固定在底座上的立柱，还包括：用于承载并夹持晶圆的承载机构，该承载机构装配在底座上，能够沿X轴移动，并能够带动晶圆水平转动；检测机构，所述检测机构装配在立柱上，能够沿立柱上下移动；检测机...
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