下载一种半导体器件中硅片和钼片焊接的方法及应用的技术资料

文档序号:11350279

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本发明公开了一种半导体器件中硅片和钼片焊接的方法,所述方法包括以下步骤:a.在钼片上设置第一银层;b.在硅片的阳极上设置第二银层;c.将第三银层设置于第一银层和第二银层之间;d.通过第一银层、第二银层和第三银层的焊接,从而将硅片与钼片焊接在...
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