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本发明涉及激光加工，提供一种激光沉积薄膜制备装置，包括激光发射器以及腔室，于腔室内设置有靶材以及沉积形成薄膜的基底，于靶材与基底之间沿靶材至基底的方向依次间隔设置有用于阻挡羽辉内的大颗粒的至少两层栅栏结构，每一栅栏结构均包括用于阻挡羽辉大颗...
该专利属于深圳大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳大学授权不得商用。

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