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一种红外光源及其制备方法技术
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下载一种红外光源及其制备方法的技术资料
文档序号:11346383
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本发明涉及红外技术领域,公开了一种红外光源及其制备方法。本发明中,红外光源包含:衬底、反射层、支撑结构与发热电极;反射层覆盖在衬底之上;支撑结构形成在反射层上;支撑结构与反射层之间形成有一空腔,发热电极固定在悬空支撑结构表面。由于空腔内的空...
该专利属于复旦大学所有,仅供学习研究参考,未经过复旦大学授权不得商用。
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