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应用在离子源中的放电装置及方法制造方法及图纸
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下载应用在离子源中的放电装置及方法的技术资料
文档序号:11335007
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本发明提供了一种应用在离子源中的放电装置及方法,所述放电装置包括中空容器,还包括:放电针,所述放电针设置在所述容器内,包括尖端部分及后端部分;所述后端部分的内部具有相互连通的轴向孔及径向孔,所述径向孔均匀分布;放电腔,所述放电腔呈筒形,设置...
该专利属于宁波大学所有,仅供学习研究参考,未经过宁波大学授权不得商用。
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