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一种硅片推片装置用承载盒输送机构，包括水平设置的负载承载盒输送带、水平设置的硅片输送带和一升降平台；所述负载承载盒输送带和硅片输送带成夹角设置，所述升降平台位于所述负载承载盒输送带和硅片输送带的夹角处；所述升降平台作用有竖向移动驱动装置。本...
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