下载一种α相氮化硅的制备方法的技术资料

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本发明涉及一种α相氮化硅的制备方法,由氮化硅粉和硅粉在充有氮气的氮气炉中高温氮化。所述氮化硅粉和硅粉按照(30~70)∶(70~30)的重量比例混合而成。本发明在低压条件下反应,相对其他方法安全性更好;对原料气体都进行预处理保证产品纯度;本...
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