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一种光刻机楔板斜面的加工方法，包括：准备处理步骤；粘接处理步骤；将工装定位平台机床固定，利用机床探头探测楔板的四个角点的面形趋势作好记录；斜面加工步骤。本发明有效的保证斜面的精度、中心厚度要求，使产品的报废率大大降低，成功率保持在90％以上...
该专利属于上海现代先进超精密制造中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海现代先进超精密制造中心有限公司授权不得商用。

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