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本发明提供一种低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法,包括:基板(1)、设于基板(1)上的遮光层(2)、设于遮光层(2)上的衬垫层(3)、设于衬垫层上的介质层(4)、设于介质层上的有源层(5)、设于有源层(5)上的栅极绝缘层(6)、设于栅极绝缘层...该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法,包括:基板(1)、设于基板(1)上的遮光层(2)、设于遮光层(2)上的衬垫层(3)、设于衬垫层上的介质层(4)、设于介质层上的有源层(5)、设于有源层(5)上的栅极绝缘层(6)、设于栅极绝缘层...