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本发明公开了一种柱状旋转磁控溅射靶，包括柱状靶材、用于安装磁钢组件的磁钢安装芯轴；磁钢安装芯轴与柱状靶材采用同心布置；柱状靶材的一端与传动轴连接，另外一端安装有端部轴头；所述端部轴头上设置有与柱状靶材和磁钢安装芯轴配合的第一凹槽和第二凹槽；...
该专利属于四川亚力超膜科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川亚力超膜科技有限公司授权不得商用。

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