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热丝法制备具有最大间接氧化效率的掺硼金刚石膜电极的方法及应用技术
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文档序号:11321280
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本发明涉及热丝化学气相沉积法制备具有最大间接氧化效率的掺硼金刚石膜(BDD)电极及其应用。通过改变BDD制备过程中热丝沉积系统中的载气流速,使其携带不同浓度的(CH3O)3B气体来控制电极中的掺硼量。将制备出的BDD电极应用于苯酚废水处理,...
该专利属于深圳盖雅环境科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳盖雅环境科技有限公司授权不得商用。
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