下载一种基于铜衬底的氮化物LED外延片结构及其制备方法的技术资料

文档序号:11319579

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本发明涉及一种基于铜衬底的氮化物LED外延片结构及其制备方法,包括铜衬底、二维衍生膜及氮化物外延层,所述二维衍生膜位于所述铜衬底及所述氮化物外延层之间,且所述二维衍生膜附着在所述铜衬底的表面上,所述氮化物外延层附着在所述二维衍生膜上。制备步...
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