下载柔性复合型干电极及其制备方法的技术资料

文档序号:11309815

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种柔性复合型干电极及其制备方法,所述电极包括:电极支持层、电极点和电极导线连接点;所述方法步骤包括:1)以玻璃为基底;2)在玻璃基底上沉积Parylene C薄膜;3)溅射Cr/Cu种子层;4)种子层上旋涂正型光刻胶,曝光,显...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。