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一种多晶硅铸锭炉热场结构制造技术
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下载一种多晶硅铸锭炉热场结构的技术资料
文档序号:11304448
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本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉热场结构,由固定隔热笼、底部隔热板和顶部隔热板所形成的中空炉腔;设置在炉腔中央,用于作为晶体生长的容器的坩埚,其底部通过石墨支撑支撑,石墨支撑底部设置有热交换块;以及中空夹层结构的隔热块,其同轴套装在热交换块...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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