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本实用新型提供一种光掩膜烘烤板架，所述光掩膜烘烤板架包括：底座；旋转装置，所述旋转装置将所述底座固定于烘烤设备底部，并通过所述旋转装置实现所述底座的旋转；支架，至少包括一与所述底座固定连接的倾斜面板；以及 加热板，固定于所述支架的倾斜面板上...
该专利属于上海凸版光掩模有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海凸版光掩模有限公司授权不得商用。

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